Cảm biến gia tốc siêu nhỏ MEMS được chế tạo bằng công nghệ vì cơ điện tử, có một vi hạt treo trên một vì lò xo giống một hệ dao động cơ học thu nhỏ. Một cảm biến MEMS có khối lượng m = 2 µg, tần số dao động riêng 50 kHz ở 25°C. Trong môi trường khắc nghiệt, hạt bụi bám vào làm khối lượng vi hạt tăng thêm 12%. Đồng thời, nhiệt độ môi trường tăng lên làm độ cứng k của vì lò xo giảm 2%. Trong cảm biến gia tốc, độ nhạy 5 được xác định bởi thương số giữa li độ và gia tốc. Cảm biến MEMS này được dùng để đo gia tốc dựa trên sự thay đổi tần số, việc thay đôi này gây ra sai số hệ thống (AS/S) là bao nhiêu %? (Kết quả làm tròn đến hàng đơn vị.)